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浦東芯片三十年
來源:半導體行業觀察 | 作者:xinliceshi | 發布時間: 1160天前 | 485 次瀏覽 | 分享到:
今年4月,上海浦東開發開放迎來30周年輝煌里程碑。遙想30年前的上海,財政赤字,基礎設施老化,工業產品在全國的地位也急速滑落。當時的夾克女裝由常熟壟斷,時裝則是廣東中山和東莞獨占鰲頭,西褲牛仔也是福建的天下,皮裝大戰打來打去都是浙江的品牌,上海的一些國有大廠在市場上幾乎無“立錐之地”。而浦東的開發可以說是上海崛起的關鍵。30年前浦東的工業大概只有幾十億元,到2018年,浦東的規上工業總產值已經突破了1萬億。再也不是那個“寧要浦西一張床,不要浦東一間房”的少年了。
1990年中央做出的開發開放浦東決策的意義是非常深遠的,其影響力絕不亞于1978年中央對廣東和福建實施特殊政策以及建立經濟特區。1990年的4月18日,時任國務院總理李鵬宣布浦東新區正式成立!在開發開放的幾天之后,時任上海市委書記兼市長朱镕基便在記者招待會上承諾:開發浦東將要從國內外吸引數百億元的資金。自此,以浦東開發開放為契機的上海和長三角開始崛起。那么在這片“阡陌農田”上都誕生了哪些半導體集群呢?

1990年代:神秘的“909工程”


1992年7月,被譽為“中國硅谷”的張江高科技園區成立。發展到至今,張江高科已從蛙聲一片的田地成為世界一流的科學城,光芯片廠商現在可能就數以千計。曾經是最后一站、經常是個人專列的張江站如今已擠滿了集成電路和半導體高科技人才。張江高科技園區集成電路產業的發展軌跡,可以說是浦東經濟發展方式轉型的一個縮影。
在外資企業中,通用電氣(GE)是較早進入長三角的跨國公司,1990 年代浦東新區設立了區域總部、財務公司和2家貿易公司,并在上海、常州、無錫、海鹽等地設立了電子、照明設備、電力電氣設備等生產制造企業。2000 年后,GE在浦東新區成立中國研發中心,除在上海設立的 3 家軟件和貿易企業,3 家制造企業外,在無錫、蘇州、杭州、南京、桐廬縣等地設立了制造企業,形成了以浦東新區為中心的輻射型企業網絡。時至今日,浦東新區早已成為GE全球研發網絡的關鍵節點和重要樞紐。
90年代對浦東半導體發展貢獻最大的當屬“909工程”。1996年3月29日,國務院正式批準“909工程”項目立項,其核心工程是投資百億建設一條8英寸0.5微米超大規模集成電路生產線,達到國際先進水平。這也是中國電子產業有史以來最大的投資項目。
1996年4月9日,具體承建“909工程”的上海華虹微電子有限公司正式成立。11月27日,上海華虹微電子有限公司超大規模集成電路項目奠基儀式在浦東金橋開發區舉行。據了解,“909工程”項目落地上海還有一個原因,就是為了促進浦東開發開放,推動浦東大發展。所以公司一開始起的名字就叫“華浦”,后來才改為“華虹”。
事實證明,909項目放在上海放在浦東,是完全正確的決策。

2000年代:迎來黃金十年,半導體產業集聚效應漸顯


(1)“天量”簽約外資額
2000年之前,上海地區的集成電路產業并沒有形成集聚效應。集成電路真正的爆發是在2000年,那時,張汝京帶領300多位臺灣半導體從業者和100多位“海歸”來到張江,張江的集成電路的“棋盤”落下了重要的一子----中芯國際。
2000年8月1日 ,中芯國際在上海浦東新區張江高科技園區打下第一根樁。8月24日,中芯國際在上海浦東新區張江高科技園區開始正式開工建設。12月21日,中芯國際集成電路制造(上海)有限公司正式成立。此后上海宏力半導體制造有限公司、上海新進半導體制造有限公司等紛紛成立,在上海掀起了集成電路產業發展浪潮,并影響全國。
2000年12月30日,在經過招商之后,浦東宣布建設微電子產業基地,規劃建設中的浦東微電子產業基地,以張江高科技園區為核心,以金橋出口加工區和外高橋保稅區為延伸,面積達22平方公里。據了解,當天總共有12個共計42.87億美元的境外投資項目簽約,創下了浦東開發開放以來日簽約外資額的“天量”。
當天簽約的有投資額分別為16.3億美元上海宏力半導體制造有限公司和15億美元的中芯國際集成電路制造上海有限公司,都從事8英寸0.25微米以下集成電路芯片的大規模生產;投資3億美元的宏一測試封裝上海有限公司的投資方,也是全球主要芯片組生產商,與GAPT保持著廣泛的合作,致力于開發、生產半導體集成電路并為國內外半導體公司提供全方位服務。
在中芯國際和華虹幾家大廠的帶動下,短短幾年,浦東便聚集了許多優秀的半導體企業。
2001年,展訊通信成立了,總部位于中國上海張江高科技園區。此后展訊通信研發出多個世界首顆基帶芯片;2007年在美國納斯達克上市;發布世界首顆商用AVS音視頻解碼芯片- SV6111;成功收購美國射頻芯片公司Quorum Systems;于2013年12月23日被紫光集團收購,最后展訊和銳迪科合并為如今進軍5G第一梯隊的紫光展銳。
2003年格科微電子(上海)有限公司創立,并于2年后量產CGV。此后格科微不斷前行,先后實現了2M CIS、8M /13M BSI CIS、DDI量產,是中國領先的CMOS圖像傳感器芯片、DDI顯示芯片設計公司,產品廣泛應用于全球手機移動終端及非手機類電子產品。獲選2019年度中國IC設計成就獎之十大IC中國設計公司,2017年度上海市集成電路設計業銷售前十名。
2004年中微半導體在張江高科技園區啟動運營。中微開發的等離子體刻蝕設備和化學薄膜設備是制造各種微觀器件的關鍵設備,可加工微米級和納米級的各種器件。這些微觀器件是現代數碼產業的基礎。2019年7月,中微半導體成為科創板首批上市公司之一。2018年5月,中微在美國VLSIresearch舉辦的全球客戶滿意度調查中榮登上榜,在全球晶圓制造設備供應商中排名第三,是唯一一家上榜的中國本土半導體設備公司。
2008年3月17日 ,聯芯科技順利完成工商注冊相關工作,標志著聯芯科技在中國上海正式合法開辦。聯芯科技是大唐電信科技產業集團的核心企業之一,秉承大唐電信集團在TD-SCDMA,TD-LTE領域的核心技術及專利的積極成果,十余年專注于TD-SCDMA及TD-LTE的終端核心技術研發與應用。
同年創立的還有深迪半導體,它是由美國海外留學人員創立的中國設計、生產商用MEMS陀螺儀系列慣性傳感器的MEMS芯片公司,成立于2008年8月,總部位于上海張江高科技園區。經過幾年發展,深迪半導體已成為中國唯一成功量產消費級陀螺儀傳感器廠商。迄今為止,其生產的陀螺儀芯片已廣泛應用到各類智能終端,尤其在航模、玩具飛機、平衡車、智能家居等領域占據市場近30%的份額。
到2008年張江已有占據產業鏈高端的150家芯片設計企業,數量相當于美國硅谷的一半。在2007年全球權威的新經濟雜志《紅鯡魚》發布的“2007年全球百家成長最快企業”榜單的5家中國內地公司中,有2家是來自浦東張江高科技園區的芯片設計企業。
浦東張江的集成電路基地形成之后,很快就在浦東和蘇州形成了一條集成電路產業帶。
(2)了不起的“02專項”
“02專項”,這個簡單到不能再簡單的名字,卻是事關我國半導體產業鏈能否完整、自主可控的國家重大科技專項。2008年國家啟動“02專項”,即:《極大規模集成電路制造技術及成套工藝》項目,因次序排在國家重大專項所列16個重大專項第二位,在行業內被稱為“02專項”。“02專項”也改變了企業有心無力的局面。
02專項在“十二五”期間重點實施的內容和目標分別是:重點進行45-22納米關鍵制造裝備攻關,開發32-22納米互補金屬氧化物半導體(CMOS)工藝、90-65納米特色工藝,開展22-14納米前瞻性研究,形成65-45納米裝備、材料、工藝配套能力及集成電路制造產業鏈,進一步縮小與世界先進水平差距,裝備和材料占國內市場的份額分別達到10%和20%,開拓國際市場。
在浦東這塊大地上,有許多“02專項”的參與者,比如國內光刻機領域的代表性企業上海微電子裝備,打破國外化學機械拋光液壟斷的安集科技,開啟300mm硅片新篇章的新昇半導體。
2002年3月在張江高科技園區成立的上海微電子裝備有限公司,自“十一五”開始一直被國家確定為“02”科技重大專項高端掃描投影光刻機研制和先進封裝光刻機產業化的承擔單位。上海微電子是我國光刻機領域中的代表企業。在國家02專項的支持下,上海微電子積極布局光刻機制造,在完成90nm工程化的同時,也對45nm的集成電路光刻技術進行研究。除此之外,在后封裝光刻機、LED光刻機領域,上海微電子也有所涉及。
此外成立于2004年的安集科技,負責“高密度封裝TSV拋光液和清洗液研發與產業化”和“CMP拋光液及配套材料技術平臺和產品系列”兩個國家“02專項”項目。截至2018年12月31日,公司作為項目責任單位完成了“90-65nm集成電路關鍵拋光材料研究與產業化”和“45-28nm集成電路關鍵拋光材料研發與產業化”兩個國家“02專項”項目。
安集科技成功打破了國外廠商對集成電路領域化學機械拋光液的壟斷,實現了進口替代,使中國在該領域擁有了自主供應能力。目前公司的化學機械拋光液已在130-28nm技術節點實現規模化銷售,主要應用于國內8英寸和12英寸主流經驗產線;14nm技術節點產品已進入客戶驗證階段;10-7nm技術節點產品正在研發中。
為了解決“卡脖子”的300毫米大硅片國產化問題,“十二五”期間國家科技部廣發“英雄帖”,成立于2014年6月,坐落于浦東臨港重裝備區內的新昇半導體便是“02專項”的深度參與者。新昇半導體的成立翻開了中國大陸300mm半導體硅片產業化的新篇章,將徹底打破我國大尺寸硅材料基本依賴進口的局面,使我國基本形成完整的半導體產業鏈。
因為新昇半導體第一期目標就是致力于在我國研究、開發適用于40-28nm節點的300mm硅單晶生長、硅片加工、外延片制備、硅片分析檢測等硅片產業化成套量產工藝;建設300毫米半導體硅片的生產基地,實現300毫米半導體硅片的國產化,充分滿足我國極大規模集成電路產業對硅襯底基礎材料的迫切要求。

2010年代:進入快速發展的十年


進入2010年代,隨著半導體產業鏈的多方布局,浦東的半導體產業發展迅速。2017年上半年浦東新區集成電路產業銷售收入為 326億元,占上海整體銷售收入的65.92 %;2018年浦東集成電路產業銷售規模首次突破千億,達到1066億元;2019年浦東集成電路產業繼續保持較快速度增長,實現銷售1220.79億元,占全市的71.5%,同比增長14.5%。
2010年1月19日,“909工程”升級項目上海華力微電子有限公司(華力一期,簡稱“華虹五廠”)成立,并開工建設12英寸生產線。該生產線成為我國第一條完全由國資控股的12英寸生產線。工藝水平覆蓋65/55納米、40納米和28納米技術節點,設計月產能3.5萬片。華虹五廠于2011年4月建成投片。華力擁有華虹五廠、華虹六廠兩座12英寸全自動晶圓廠。
2013-2014年,清華紫光集團收購展訊通信和銳迪科。2014年12月,國家集成電路產業投資基金將第一筆基金4.5億元投資上海中微半導體。2016年12月,國家“909工程”升級改造二期工程,華力微電子二廠12英寸晶圓生產線開工建設。
另外,還有一些標志性事件:2017年7月,總規模不低于100億元的上海集成電路裝備材料基金在上海臨港舉行簽約儀式,這標志著上海500億元集成電路產業基金全面啟動。2018年10月,華力二期12英寸先進生產線正式建成投片。2019年7月,樂鑫科技、中微半導體、安集微電子等3家浦東集成電路企業成為科創板首批掛牌上市的公司。
目前,浦東集成電路產業已覆蓋設計、制造、封裝測試、裝備材料等各環節,形成了一批國內龍頭企業和有潛質的獨角獸企業。浦東張江也是上海集成電路產業鏈最完備,綜合技術水平最先進,自主創新能力最強的地方。

結語


從篳路藍縷到世界標桿,三十而立的浦東,正如人至壯年,身處一個至關重要的發展節點上,“再造一個新浦東”是上海浦東改革開放的新使命。


*免責聲明:本文由作者原創。文章內容系作者個人觀點,芯立電子轉載僅為了傳達一種不同的觀點,不代表芯立電子對該觀點贊同或支持,如果有任何異議,歡迎聯系芯立電子。



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